据上海临港动静，8月2日，中微半导体装备（上海）株式会社进行临港财产化基地完工庆典，标记该基地正式投入使用。

2021年，中微公司启动了中微临港财产化基地、中微临港总部以及研发基地的设置装备摆设。中微临港财产化基地总投资16.7亿元，占地157亩，总修建面积约18万平方米，为中微最年夜的出产打造基地。配备行业领先的试验室、业界高尺度的干净室、进步前辈的出产车间及智能化立体堆栈等举措措施，可实现出产全程数字化、智能化治理。

据悉，2023年7月，中微公司南昌出产研发基地完工并投入使用，该基��һ�˶�地面积为14万平方米；今朝，位在滴水湖畔的中微临港总部暨研发年夜楼也正于设置装备摆设中，建成后占地面积约10万平方米。将来，中微公司的出产以及研发基地总面积将到达约45万平方米。

此外，据相识，中微公司的等离子体刻蚀装备已经被广泛运用在国际一线客户进步前辈工艺的浩繁刻蚀运用，中微公司开发的用在LED以及功率器件外延片出产的MOCVD装备已经于客户出产线上投入量产，今朝已经于全世界氮化镓基LED MOCVD装备市场盘踞上风职位地方。中微公司于刻蚀装备、薄膜沉积装备、MOCVD装备等范畴均取患了显著成绩。

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